永晶关联：福建省邵武市永飞化工有限公司
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无机高纯化学品部
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质量标准：
| 分子式：HF 分子量：20.01 | |||
|
序号 |
项目 |
单位 |
规格值 |
|
1 |
氢氟酸 (HF) |
wt% |
≥99.999 |
|
2 |
氯化物（Cl） |
ppb |
≤100 |
|
3 |
硝酸盐 (NO3) |
ppb |
≤100 |
|
4 |
磷酸盐（PO4） |
ppb |
≤100 |
|
5 |
硫酸盐（SO4） |
ppb |
≤100 |
|
6 |
硅（Si） |
ppb |
≤100 |
|
7 |
铁（Fe） |
ppb |
≤50 |
|
8 |
镍（Ni） |
ppb |
≤50 |
|
9 |
铬（Cr） |
ppb |
≤50 |
|
10 |
铜（Cu） |
ppb |
≤50 |
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11 |
钠（Na） |
ppb |
≤50 |
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12 |
钙（Ca） |
ppb |
≤50 |
性状：
无色透明液体，在空气中冒白烟，有强烈刺激性气味，剧毒，并有强烈的腐蚀性，沸点19.5℃。
用途：
半导体蚀刻。
贮存：
贮存在带棚的库房中。严禁暴晒，严禁与易爆物品混放。
运输：
按一级无机酸性腐蚀物品对待。
包装：
用中压高纯钢瓶包装，每瓶4L、10L、40L或依客户要求。
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